2

上料重复精度

±0.15mm

3

晶圆尺寸范围

4-6寸（根据客户情况定制合适的尺寸）

4

找平机构

全自动三点式微力找平

5

设备电压

AC  220V 50HZ

6

设备气源要求

正压大于05Mpa，负压大于55KPa

7

设备最大功率

3.5KW

8

曝光灯波长

365nm（可定制365/405/420/435nm）

9

曝光灯最大光功率

40mW/cm2

10

曝光灯平行半角

1.5度

11

曝光灯均匀性

97%的平行光

12

曝光方式

接触式/接近式

13

分辨率

接触式1.0um，接近式3.0um(正胶厚度1um以内，曝光间隙5um)

14

视觉识别精度

5um

15

设备NG率

不大于0.1%

16

升降平台重复精度

±0.25um

17

设备尺寸

长×宽×高=1588mm×1283mm×2252mm（不带报警灯2000mm）

18

设备重量

700Kg